產(chǎn)品展廳
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Kalrez 9100 Dupont America 杜邦 密封圈 半導(dǎo)體 面板
- 英文名稱：Kalrez
- 品牌：Dupont America 杜邦
- 產(chǎn)地：美國(guó)
- 型號(hào)：美標(biāo)&日標(biāo)成品
- 價(jià)格： ￥137/個(gè)
- 發(fā)布日期： 2025-01-04
- 更新日期： 2025-04-21
產(chǎn)品詳請(qǐng)
| 品牌 | Dupont America 杜邦 |
| 貨號(hào) | |
| 用途 | Kalrez? 9100 是一款琥珀色半透明產(chǎn)品,專用于 PECVD 和 HDPCVD 工藝。它還在“部分”蝕刻工藝中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。 |
| 英文名稱 | Kalrez |
| 型號(hào) | Kalrez 9100 |
| 產(chǎn)品等級(jí) | |
| 包裝規(guī)格 | 美標(biāo)&日標(biāo)成品 |
| 外形尺寸 | 密封圈 定制尺寸形狀 |
| 原產(chǎn)地 | 美國(guó) |
| 生產(chǎn)企業(yè) | Dupont America 杜邦 |
| 是否進(jìn)口 | |
| 形狀 | 密封圈 |
Kalrez®
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設(shè)計(jì)用于關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學(xué)工業(yè)到芯片制程以及油氣應(yīng)用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒(méi)有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受最具挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設(shè)計(jì)為最惰性的聚合物結(jié)構(gòu)之一,可耐受 1800 多種不同的化學(xué)物質(zhì),同時(shí)提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)制造的。每個(gè)部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)、最可預(yù)測(cè)的使用壽命之一。
Kalrez®零件經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過(guò)程和設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間,從而提高生產(chǎn)率和良率。
用途
泵、反應(yīng)釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設(shè)備、運(yùn)輸和化工的高性能零件
生命科學(xué)應(yīng)用
半導(dǎo)體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢(shì)
耐受 1800 多種化學(xué)物質(zhì)
高達(dá) 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護(hù)和運(yùn)營(yíng)成本
密封壽命長(zhǎng)
符合藥品和食品加工安全標(biāo)準(zhǔn)
提供標(biāo)準(zhǔn)和專用化合物,供定制使用
TM 杜邦™ Kalrez® 9100
用于光伏制造過(guò)程
技術(shù)信息-2010年7月1日修訂版
產(chǎn)品描述
杜邦™Kalrez°900全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產(chǎn)品,用于要求耐氟等離子體的光伏電池制造過(guò)程,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現(xiàn)出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學(xué)性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設(shè)定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。建議的最大連續(xù)使用溫度為300°C。
特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì)
·氟基等離子體中的極低重量損失和超低粒子生成
·優(yōu)異的干法化學(xué)耐受性
·優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性。優(yōu)異的(低)壓縮永久變形和氣體逸出性能
建議應(yīng)用
氣體國(guó)/狹縫閥門(mén)密封件
氣體入口/孔口密封件
隔離國(guó)密封件
基板處理墊腔室蓋密封件
等離子體電阻
根據(jù)使用的功率和化學(xué)性質(zhì),等離子體可能是一個(gè)非常具有性的介質(zhì)。如果選擇不當(dāng),彈性體可能會(huì)在等離子體中以驚人的速度被侵蝕,導(dǎo)致在抽空過(guò)程中出現(xiàn)問(wèn)題或?qū)е掠卸練怏w釋放到大氣中。圖1顯示了Kalrez9100}與典型氟彈性體(競(jìng)爭(zhēng)性FKMK7)氟硅酮(競(jìng)爭(zhēng)性FVMQE7)和硅酮(競(jìng)爭(zhēng)性VMQT1)產(chǎn)品在直接暴露于NF3/Ar(1:3)等離子體6小時(shí)后重量損失(侵蝕)百分比的比較。Kalrez89100相對(duì)于其他測(cè)試產(chǎn)品顯示出顯著較低的體重減輕(腐蝕)。
粒子生成
傳統(tǒng)的密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產(chǎn)品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體性能可能因所用填料的類型而有顯著差異。如果填料對(duì)等離子體具有高抗性,它可以將聚合物“屏蔽”,從而減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,留下離散顆粒,具有產(chǎn)生顆粒的高潛力。不含填料和聚合物填料的產(chǎn)品可以完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質(zhì),從而顯著降低污染的可能性。圖2顯示了杜邦“Kalrez”9100與典型炭黑和礦物填充氟彈性體產(chǎn)品在暴露于NF/Ar(1:3)等離子體6小時(shí)后產(chǎn)生的相對(duì)粒子數(shù)量。Kalrez9100產(chǎn)生的粒子數(shù)量顯著低于其他測(cè)試產(chǎn)品。
杜邦公司™卡爾雷茲9100
用于PECVD/ALD/HDPCVD和導(dǎo)體蝕刻應(yīng)用
杜邦™Kalrez° 9100 是一種專門(mén)針對(duì) PECVD、ALD、HDPCVD 和導(dǎo)體(聚/金屬)蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)的琥珀色半透明產(chǎn)品*。Kalrez®9100 專為環(huán)境設(shè)計(jì),在惡劣的等離子體逸出過(guò)程中提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的侵蝕和極低的粒子生成,以及優(yōu)異的彈性恢復(fù)和良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用*。建議的最大應(yīng)用溫度為 300°C(572°F)。超純后清潔和包裝是所有Kalrez° 9100零件的標(biāo)準(zhǔn)配置。
半導(dǎo)體!
編輯的選擇
2008年最佳產(chǎn)品
功能/優(yōu)點(diǎn)
·基于氧和氟的等離子體中的低侵蝕率和超低粒子生成
·優(yōu)異的耐干法化學(xué)性
·優(yōu)異的熱穩(wěn)定性
極低的排氣性能和金屬含量
·優(yōu)異的彈性恢復(fù)和低壓縮設(shè)定特性
典型的物理屬性
顏色
硬度,肖爾A2(拼板)
硬度,肖氏M3(0形環(huán))100%模量*,MPa(psi)Break4時(shí)的拉伸強(qiáng)度,MPa(psi)休息時(shí)的伸長(zhǎng)率4,%
壓縮集5,%
204度(400華氏度)70小時(shí)250度(482華氏度)70小時(shí)
在300攝氏度(572華氏)下70小時(shí)
最大應(yīng)用,溫度6,C(F)
琥珀半透明的
70
78
5.17 (750)15.67(2273)
238
300(572)
不得用于規(guī)格識(shí)明目的2ASTMD2240(平新謝試開(kāi)品)ASTM D2240和D1414(AS568K2140型系測(cè)試樣品)AASTM0412 0甘2)ASTMD335S和D1414(A555312140型南謝試開(kāi)品)
*杜邦專有測(cè)試方法
粒子生成傳統(tǒng)的全氟彈性體(FFKM)密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產(chǎn)品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體的能力可以顯著不同,這取決于使用的填料類型。如果填料具有高抗等離子體性,如BaS04、Ti02等,它可以通過(guò)“屏蔽”聚合物來(lái)減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,可能會(huì)產(chǎn)生離散顆粒,具有很高的顆粒生成潛力。 未填充和聚合物填充產(chǎn)品基本上不含碳、氟和氧以外的其他元素,這些元素可以被完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質(zhì),從而顯著降低污染的可能性。圖1顯示了杜邦Kairez@9100與納米二氧化硅和金屬氧化物填充FFKM產(chǎn)品在不同等離子體中的相對(duì)粒子生成。
Fabs 選擇Kalrez@9100以提高性能
據(jù)報(bào)道,Kalrez°9100在各種半導(dǎo)體工藝應(yīng)用中顯著提高了晶圓的生產(chǎn)效率,在這些應(yīng)用中,清洗循環(huán)中使用了氧氣和氟化等離子體。在Fabline 客戶的多項(xiàng)評(píng)估中,與競(jìng)爭(zhēng)性的全氟彈性體相比,Kalrez9100 在靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用中表現(xiàn)出更少的磨損、更低的顆粒生成和更長(zhǎng)的密封壽命。
案例報(bào)告:#5903-美國(guó)主要生產(chǎn)線PM循環(huán)延長(zhǎng)3倍!
生產(chǎn)線將PM周期從60天延長(zhǎng)到180天
使用180天后,無(wú)侵蝕、泄漏、機(jī)械損壞或壓縮設(shè)定的跡象
設(shè)備平臺(tái)-NovellusConcept TWo SPEED
工藝-HDPCVD/STI
過(guò)程化學(xué)-SiHa,He,Oz
清潔化學(xué)-4000瓦的NF3等離子體
·密封位置-狹縫閥門(mén)、內(nèi)氣體歧管環(huán)、MESC法蘭插件、等推閥、渦輪閘、圓頂蓋
案例報(bào)告#6376-歐洲主要生產(chǎn)線PM循環(huán)改進(jìn)2倍!
生產(chǎn)線已將PM周期從30,000對(duì)芯片延長(zhǎng)至>55,000對(duì)芯片
密封唇?jīng)]有腐蝕、機(jī)械損傷、壓縮設(shè)定或變形的跡象
設(shè)備平臺(tái)-應(yīng)用材料生產(chǎn)商Low-k
工藝-PECVD/黑鉆石
·過(guò)程化學(xué)-三甲基硅烷(TMS),Oz
清潔化學(xué)-通過(guò)遠(yuǎn)程等離子體源的NF3等離子
·密封位置-增值稅MONOVAT粘合門(mén)
案例報(bào)告#6441-歐洲主要研究中心PM目標(biāo)超標(biāo)·加工5,000片晶回后沒(méi)有/極少的侵蝕或降解跡象(圖2)
·研究中心目前正在進(jìn)行測(cè)試,以確定最大實(shí)際密封壽命
設(shè)備平臺(tái)-應(yīng)用材料CenturaUltima
.工藝-HDPCVD/STI
*Process Chemistry-SiH4.He.02·清潔化學(xué)-3000瓦的NF3等離子體
密封位置-粗加工隔離閥錐密封,頂部噴嘴總成0形環(huán)密封
圖2.杜邦™Kalrez®9100 和現(xiàn)有密封件在加工 5000 片晶圓后。研究中心認(rèn)為,Kalrez9100 密封件可以在計(jì)劃的 5,000 片晶圓 PM 周期之后繼續(xù)工作。
卡勒茲。9100木偶印章
Kalrez@9100 頂部噴嘴密封
現(xiàn)任 FFKM 波普特印章
現(xiàn)任FFKM頂部噴嘴密封件
案例報(bào)告 #6738-美國(guó)主要生產(chǎn)線PM循環(huán)延長(zhǎng)3倍!
·生產(chǎn)線已將PM周期從400小時(shí)延長(zhǎng)至1200小時(shí)
·使用1200 Rf小時(shí)后沒(méi)有退化或開(kāi)裂的跡象
設(shè)備亞臺(tái)-Lam ResearchTCP-9600
工藝-金屬蝕刻和抗蝕條/灰
過(guò)程化學(xué)-氯化鋯,BCI3,水蒸氣清潔化學(xué)-0z等離子體(清潔每顆晶回后的灰塵沉積物)
·密封位置-狹縫閥開(kāi)口的定制密封
案例報(bào)告#10376-主要AP生產(chǎn)線PM循環(huán)延長(zhǎng)2倍!·生產(chǎn)線將PM周期從27,000片延長(zhǎng)到54,000片
加工54,000片晶回后沒(méi)有侵蝕、開(kāi)裂或壓縮的跡象
·設(shè)備平臺(tái)-應(yīng)用材料@生產(chǎn)者®SE
工藝-PECVD
工藝化學(xué)_TMS,Oz,He,Ar
清潔化學(xué)-NF3
密封位置-蓋組件
注:杜邦的顏色可能會(huì)有所不同。"Kalrez@9100 部件。變化被認(rèn)為是外觀上的。請(qǐng)參見(jiàn)以下詳細(xì)信息。如果您有任何問(wèn)題或需要任何額外信息,請(qǐng)聯(lián)系Kalrez@應(yīng)用工程師。
標(biāo)記(暗斑)
Kalrez® 9100]部件中可能有小標(biāo)記(深色斑點(diǎn))。這些標(biāo)記(深色斑點(diǎn))是固化過(guò)程的結(jié)果,是部件固有的。它們不是外來(lái)物質(zhì)的標(biāo)志預(yù)計(jì)不會(huì)對(duì)部件在服役中的性能產(chǎn)生不利影響。
深色密封元件-粘合門(mén)密封件(BDS)
Kalrez®9100粘合門(mén)密封件(BDS)中的密封元件顏色比Kalreze91000型深,原因有二:
1)與Kalrez91000型圈相比,Kalrez@9100 BDS在不同的標(biāo)準(zhǔn)操作條件下制造。
2)由于密封元件在至少一個(gè)或多個(gè)側(cè)面上與鋁粘合,因此通過(guò)它的光較少。在這兩種情況下,這都是一個(gè)顏色問(wèn)題,即較暗的顏色并不意味著密封元件中存在異物,也不預(yù)期會(huì)對(duì)Kalrez®9100 BDS在服役中的性能產(chǎn)生不利影響。
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設(shè)計(jì)用于關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學(xué)工業(yè)到芯片制程以及油氣應(yīng)用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒(méi)有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受最具挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設(shè)計(jì)為最惰性的聚合物結(jié)構(gòu)之一,可耐受 1800 多種不同的化學(xué)物質(zhì),同時(shí)提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)制造的。每個(gè)部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)、最可預(yù)測(cè)的使用壽命之一。
Kalrez®零件經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過(guò)程和設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間,從而提高生產(chǎn)率和良率。
用途
泵、反應(yīng)釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設(shè)備、運(yùn)輸和化工的高性能零件
生命科學(xué)應(yīng)用
半導(dǎo)體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢(shì)
耐受 1800 多種化學(xué)物質(zhì)
高達(dá) 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護(hù)和運(yùn)營(yíng)成本
密封壽命長(zhǎng)
符合藥品和食品加工安全標(biāo)準(zhǔn)
提供標(biāo)準(zhǔn)和專用化合物,供定制使用
TM 杜邦™ Kalrez® 9100
用于光伏制造過(guò)程
技術(shù)信息-2010年7月1日修訂版
產(chǎn)品描述
杜邦™Kalrez°900全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產(chǎn)品,用于要求耐氟等離子體的光伏電池制造過(guò)程,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現(xiàn)出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學(xué)性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設(shè)定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。建議的最大連續(xù)使用溫度為300°C。
特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì)
·氟基等離子體中的極低重量損失和超低粒子生成
·優(yōu)異的干法化學(xué)耐受性
·優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性。優(yōu)異的(低)壓縮永久變形和氣體逸出性能
建議應(yīng)用
氣體國(guó)/狹縫閥門(mén)密封件
氣體入口/孔口密封件
隔離國(guó)密封件
基板處理墊腔室蓋密封件
等離子體電阻
根據(jù)使用的功率和化學(xué)性質(zhì),等離子體可能是一個(gè)非常具有性的介質(zhì)。如果選擇不當(dāng),彈性體可能會(huì)在等離子體中以驚人的速度被侵蝕,導(dǎo)致在抽空過(guò)程中出現(xiàn)問(wèn)題或?qū)е掠卸練怏w釋放到大氣中。圖1顯示了Kalrez9100}與典型氟彈性體(競(jìng)爭(zhēng)性FKMK7)氟硅酮(競(jìng)爭(zhēng)性FVMQE7)和硅酮(競(jìng)爭(zhēng)性VMQT1)產(chǎn)品在直接暴露于NF3/Ar(1:3)等離子體6小時(shí)后重量損失(侵蝕)百分比的比較。Kalrez89100相對(duì)于其他測(cè)試產(chǎn)品顯示出顯著較低的體重減輕(腐蝕)。
粒子生成
傳統(tǒng)的密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產(chǎn)品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體性能可能因所用填料的類型而有顯著差異。如果填料對(duì)等離子體具有高抗性,它可以將聚合物“屏蔽”,從而減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,留下離散顆粒,具有產(chǎn)生顆粒的高潛力。不含填料和聚合物填料的產(chǎn)品可以完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質(zhì),從而顯著降低污染的可能性。圖2顯示了杜邦“Kalrez”9100與典型炭黑和礦物填充氟彈性體產(chǎn)品在暴露于NF/Ar(1:3)等離子體6小時(shí)后產(chǎn)生的相對(duì)粒子數(shù)量。Kalrez9100產(chǎn)生的粒子數(shù)量顯著低于其他測(cè)試產(chǎn)品。
杜邦公司™卡爾雷茲9100
用于PECVD/ALD/HDPCVD和導(dǎo)體蝕刻應(yīng)用
杜邦™Kalrez° 9100 是一種專門(mén)針對(duì) PECVD、ALD、HDPCVD 和導(dǎo)體(聚/金屬)蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)的琥珀色半透明產(chǎn)品*。Kalrez®9100 專為環(huán)境設(shè)計(jì),在惡劣的等離子體逸出過(guò)程中提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的侵蝕和極低的粒子生成,以及優(yōu)異的彈性恢復(fù)和良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用*。建議的最大應(yīng)用溫度為 300°C(572°F)。超純后清潔和包裝是所有Kalrez° 9100零件的標(biāo)準(zhǔn)配置。
半導(dǎo)體!
編輯的選擇
2008年最佳產(chǎn)品
功能/優(yōu)點(diǎn)
·基于氧和氟的等離子體中的低侵蝕率和超低粒子生成
·優(yōu)異的耐干法化學(xué)性
·優(yōu)異的熱穩(wěn)定性
極低的排氣性能和金屬含量
·優(yōu)異的彈性恢復(fù)和低壓縮設(shè)定特性
典型的物理屬性
顏色
硬度,肖爾A2(拼板)
硬度,肖氏M3(0形環(huán))100%模量*,MPa(psi)Break4時(shí)的拉伸強(qiáng)度,MPa(psi)休息時(shí)的伸長(zhǎng)率4,%
壓縮集5,%
204度(400華氏度)70小時(shí)250度(482華氏度)70小時(shí)
在300攝氏度(572華氏)下70小時(shí)
最大應(yīng)用,溫度6,C(F)
琥珀半透明的
70
78
5.17 (750)15.67(2273)
238
300(572)
不得用于規(guī)格識(shí)明目的2ASTMD2240(平新謝試開(kāi)品)ASTM D2240和D1414(AS568K2140型系測(cè)試樣品)AASTM0412 0甘2)ASTMD335S和D1414(A555312140型南謝試開(kāi)品)
*杜邦專有測(cè)試方法
粒子生成傳統(tǒng)的全氟彈性體(FFKM)密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產(chǎn)品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體的能力可以顯著不同,這取決于使用的填料類型。如果填料具有高抗等離子體性,如BaS04、Ti02等,它可以通過(guò)“屏蔽”聚合物來(lái)減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,可能會(huì)產(chǎn)生離散顆粒,具有很高的顆粒生成潛力。 未填充和聚合物填充產(chǎn)品基本上不含碳、氟和氧以外的其他元素,這些元素可以被完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質(zhì),從而顯著降低污染的可能性。圖1顯示了杜邦Kairez@9100與納米二氧化硅和金屬氧化物填充FFKM產(chǎn)品在不同等離子體中的相對(duì)粒子生成。
Fabs 選擇Kalrez@9100以提高性能
據(jù)報(bào)道,Kalrez°9100在各種半導(dǎo)體工藝應(yīng)用中顯著提高了晶圓的生產(chǎn)效率,在這些應(yīng)用中,清洗循環(huán)中使用了氧氣和氟化等離子體。在Fabline 客戶的多項(xiàng)評(píng)估中,與競(jìng)爭(zhēng)性的全氟彈性體相比,Kalrez9100 在靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用中表現(xiàn)出更少的磨損、更低的顆粒生成和更長(zhǎng)的密封壽命。
案例報(bào)告:#5903-美國(guó)主要生產(chǎn)線PM循環(huán)延長(zhǎng)3倍!
生產(chǎn)線將PM周期從60天延長(zhǎng)到180天
使用180天后,無(wú)侵蝕、泄漏、機(jī)械損壞或壓縮設(shè)定的跡象
設(shè)備平臺(tái)-NovellusConcept TWo SPEED
工藝-HDPCVD/STI
過(guò)程化學(xué)-SiHa,He,Oz
清潔化學(xué)-4000瓦的NF3等離子體
·密封位置-狹縫閥門(mén)、內(nèi)氣體歧管環(huán)、MESC法蘭插件、等推閥、渦輪閘、圓頂蓋
案例報(bào)告#6376-歐洲主要生產(chǎn)線PM循環(huán)改進(jìn)2倍!
生產(chǎn)線已將PM周期從30,000對(duì)芯片延長(zhǎng)至>55,000對(duì)芯片
密封唇?jīng)]有腐蝕、機(jī)械損傷、壓縮設(shè)定或變形的跡象
設(shè)備平臺(tái)-應(yīng)用材料生產(chǎn)商Low-k
工藝-PECVD/黑鉆石
·過(guò)程化學(xué)-三甲基硅烷(TMS),Oz
清潔化學(xué)-通過(guò)遠(yuǎn)程等離子體源的NF3等離子
·密封位置-增值稅MONOVAT粘合門(mén)
案例報(bào)告#6441-歐洲主要研究中心PM目標(biāo)超標(biāo)·加工5,000片晶回后沒(méi)有/極少的侵蝕或降解跡象(圖2)
·研究中心目前正在進(jìn)行測(cè)試,以確定最大實(shí)際密封壽命
設(shè)備平臺(tái)-應(yīng)用材料CenturaUltima
.工藝-HDPCVD/STI
*Process Chemistry-SiH4.He.02·清潔化學(xué)-3000瓦的NF3等離子體
密封位置-粗加工隔離閥錐密封,頂部噴嘴總成0形環(huán)密封
圖2.杜邦™Kalrez®9100 和現(xiàn)有密封件在加工 5000 片晶圓后。研究中心認(rèn)為,Kalrez9100 密封件可以在計(jì)劃的 5,000 片晶圓 PM 周期之后繼續(xù)工作。
卡勒茲。9100木偶印章
Kalrez@9100 頂部噴嘴密封
現(xiàn)任 FFKM 波普特印章
現(xiàn)任FFKM頂部噴嘴密封件
案例報(bào)告 #6738-美國(guó)主要生產(chǎn)線PM循環(huán)延長(zhǎng)3倍!
·生產(chǎn)線已將PM周期從400小時(shí)延長(zhǎng)至1200小時(shí)
·使用1200 Rf小時(shí)后沒(méi)有退化或開(kāi)裂的跡象
設(shè)備亞臺(tái)-Lam ResearchTCP-9600
工藝-金屬蝕刻和抗蝕條/灰
過(guò)程化學(xué)-氯化鋯,BCI3,水蒸氣清潔化學(xué)-0z等離子體(清潔每顆晶回后的灰塵沉積物)
·密封位置-狹縫閥開(kāi)口的定制密封
案例報(bào)告#10376-主要AP生產(chǎn)線PM循環(huán)延長(zhǎng)2倍!·生產(chǎn)線將PM周期從27,000片延長(zhǎng)到54,000片
加工54,000片晶回后沒(méi)有侵蝕、開(kāi)裂或壓縮的跡象
·設(shè)備平臺(tái)-應(yīng)用材料@生產(chǎn)者®SE
工藝-PECVD
工藝化學(xué)_TMS,Oz,He,Ar
清潔化學(xué)-NF3
密封位置-蓋組件
注:杜邦的顏色可能會(huì)有所不同。"Kalrez@9100 部件。變化被認(rèn)為是外觀上的。請(qǐng)參見(jiàn)以下詳細(xì)信息。如果您有任何問(wèn)題或需要任何額外信息,請(qǐng)聯(lián)系Kalrez@應(yīng)用工程師。
標(biāo)記(暗斑)
Kalrez® 9100]部件中可能有小標(biāo)記(深色斑點(diǎn))。這些標(biāo)記(深色斑點(diǎn))是固化過(guò)程的結(jié)果,是部件固有的。它們不是外來(lái)物質(zhì)的標(biāo)志預(yù)計(jì)不會(huì)對(duì)部件在服役中的性能產(chǎn)生不利影響。
深色密封元件-粘合門(mén)密封件(BDS)
Kalrez®9100粘合門(mén)密封件(BDS)中的密封元件顏色比Kalreze91000型深,原因有二:
1)與Kalrez91000型圈相比,Kalrez@9100 BDS在不同的標(biāo)準(zhǔn)操作條件下制造。
2)由于密封元件在至少一個(gè)或多個(gè)側(cè)面上與鋁粘合,因此通過(guò)它的光較少。在這兩種情況下,這都是一個(gè)顏色問(wèn)題,即較暗的顏色并不意味著密封元件中存在異物,也不預(yù)期會(huì)對(duì)Kalrez®9100 BDS在服役中的性能產(chǎn)生不利影響。
